照明系统发出单色激光1，经反射镜2、聚光镜、光阑4射入仪器内的半透半反镜5，经准直物镜12折射成平行光，然后射出。朝向标准平面晶体13和检查平面晶体。从晶体14、标准平面晶体13和被检查平面晶体14反射的光重叠形成相干光束。长度精密检测
相干光束通过半透半反镜5、反光镜6、转向镜组7和入射光阑8反射回来，通过观察物镜9成像在测微目镜的分划板10上，可以得到通过目镜组 11. 观察干涉条纹，测量干涉条纹的弯曲度，校准测量干涉条纹的间距。
激光平面干涉仪测量检测的工作原理
当一束给定波的单色平行光照射在由两个平面形成的具有小楔角z的空气楔上时，两个平面分别反射的两束相干光在交汇点处具有一定的光程差, 这个光程差△只与气隙的厚度有关。在厚度相同的情况下，两个反射光束的光程差相同。因此，相同的干涉条纹出现在气隙厚度相同的地方。反射光被称为“等厚干涉原理”。
外校准仪等厚干涉条纹的形状是由气隙厚度相同的轨迹决定的。
因此，平面度是根据干涉条纹的形状来确定的。广西计量检测
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